- electron-beam fabrication
- виготовлення ІС за електронно-променевою технологією
English-Ukrainian dictionary of microelectronics. 2013.
electron-beam fabrication
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Electron beam lithography — (often abbreviated as e beam lithography) is the practice of scanning a beam of electrons in a patterned fashion across a surface covered with a film (called the resist),cite book |last= McCord |first=M. A. |coauthors=M. J. Rooks |title=… … Wikipedia
Electron beam induced deposition — (EBID) is a process of decomposing gaseous molecules by electron beam leading to deposition of non volatile fragments onto a nearby substrate. Process Focused electron beam of scanning electron microscope (SEM) or scanning transmission electron… … Wikipedia
Electron Beam Melting — (EBM) is a type of rapid prototyping for metal parts. It is often classified as a rapid manufacturing method. The technology manufactures parts by melting metal powder layer per layer with an electron beam in a high vacuum. Unlike some metal… … Wikipedia
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Electron microscope — Diagram of a transmission electron microscope A 197 … Wikipedia
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